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Raman study on residual strains in thin 3C-SiC epitaxial layers grown on Si(001) 会议论文
THIN SOLID FILMS, 368 (2), SHANGHAI, PEOPLES R CHINA, MAY 10-13, 1999
作者:  Zhu JJ;  Liu SY;  Liang JW;  Zhu JJ Chinese Acad Sci Inst Semicond Beijing 100083 Peoples R China.
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Raman Spectrum  Thin Film  Chemical Vapor Deposition  Scattering  Si