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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Liu, YF;  Xie, J;  Zhao, H;  Luo, W;  Yang, JL;  An, J;  Yang, FH
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A SIMPLE METHOD FOR EFFECTIVELY RESTRAIN ELECTROCHEMICAL CORROSION OF POLYCRYSTALLINE SILICON BY HF-BASED SOLUTIONS 会议论文
PROCEEDINGS: IEEE MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS 页: 205-208, Cancun, MEXICO, 2011
作者:  Xie J (Xie J.);  Liu YF (Liu Y. F.);  Zhang ML (Zhang M. L.);  Yang JL (Yang J. L.);  Yang FH (Yang F. H.)
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Liu YF;  Xie J;  Zhang ML;  Yang JL;  Yang FH;  Liu, YF, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Beijing 100083, Peoples R China. jlyang@semi.ac.cn
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大规模防止MEMS器件结构层材料被电化学腐蚀的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010235859.2, 公开日期: 2011-08-31
发明人:  杨晋玲;  刘云飞;  解婧;  杨富华
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一种防止MEMS器件结构层材料被电化学腐蚀的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010235870.9, 公开日期: 2011-08-31
发明人:  杨晋玲;  解婧;  刘云飞;  杨富华
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一种超高真空多功能综合测试系统 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010171385.X, 公开日期: 2011-08-31, 2011-08-31, 2011-08-31
发明人:  杨晋玲;  刘云飞;  解婧;  杨富华
Adobe PDF(846Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1550/70  |  提交时间：2011/08/31