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变温显微磁光光谱系统 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2007-10-24, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  谭平恒;  郑厚植;  李桂荣;  章昊;  姬杨;  甘华东;  朱汇
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显微拉曼谱仪与近红外光谱仪的联合测试系统 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2007-10-24, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  谭平恒;  李桂荣;  朱汇;  甘华东
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半导体晶片精密化学机械抛光剂 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2007-10-03, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  朱蓉辉;  惠峰;  卜俊鹏;  郑红军;  赵冀
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双面抛光机 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2007-09-19, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  朱蓉辉;  赵冀;  惠峰;  卜俊鹏;  郑红军
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可以修整抛光晶片平整度的抛光头 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2007-09-05, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  朱蓉辉;  惠峰;  卜俊峰;  郑红军;  赵冀
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扩散型兆声波清洗槽 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2007-09-05, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  朱蓉辉;  惠峰;  卜俊鹏;  郑红军;  赵冀
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精密多线切割和研磨用切磨粉体材料 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2007-05-30, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  朱蓉辉;  惠峰;  卜俊鹏;  郑红军
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一种精密抛光晶片用有机物清洗液 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2007-05-30, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  朱蓉辉;  惠峰;  卜俊鹏;  郑红军
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Sun JY (Sun Jiayin);  Chen J (Chen Jing);  Wang X (Wang Xi);  Wang JF (Wang Jianfeng);  Liu W (Liu Wei);  Zhu JJ (Zhu Jianjun);  Yang H (Yang Hui);  Sun, JY, No 865,Changning Rd, Shanghai 200050, Peoples R China. 电子邮箱地址: jiayinsun@mail.sim.ac.cn
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Cheng YB (Cheng YuanBing);  Pan JQ (Pan JiaoQing);  Liang S (Liang Song);  Feng W (Feng Wen);  Liao ZY (Liao Zaiyi);  Zhou F (Zhou Fan);  Wang BJ (Wang, BaoJun);  Zhao LJ (Zhao LingJuan);  Zhu HL (Zhu HongLiang);  Wang W (Wang Wei);  Cheng, YB, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, State Key Lab Integrated Optoelect, PO Box 912, Beijing 100083, Peoples R China. 电子邮箱地址: ybcheng@semi.ac.cn
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