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一种新型键合用晶向对准装置 专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2006-11-08, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  陈良惠;  郑婉华;  杨国华;  何国荣;  王玉平;  曹青;  郭良;  林学春
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一种利用激光对准晶片晶向的方法及装置 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2006-10-11, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  陈良惠;  郑婉华;  杨国华;  何国荣;  王玉平;  曹青;  郭良;  林学春
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Wang BZ (Wang Bao-Zhu);  Wang XL (Wang Xiao-Liang);  Hu GX (Hu Guo-Xin);  Ran JX (Ran Jun-Xue);  Wang XH (Wang Xin-Hua);  Guo LC (Guo Lun-Chun);  Xiao HL (Xiao Hong-Ling);  Li JP (Li Jian-Ping);  Zeng YP (Zeng Yi-Ping);  Li JM (Li Jin-Min);  Wang ZG (Wang Zhan-Guo);  Wang, BZ, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Beijing 100083, Peoples R China. E-mail: wangbz@semi.ac.cn
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  肖雪芳;  杨国华;  王国宏;  王树堂;  陈良惠
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