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一种半导体的掺杂技术 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 1991-11-06, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  李秀琼;  王培大;  马祥彬;  孙惠玲;  王纯
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