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一种非对称马赫泽德干涉仪及其设计方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2007-10-17, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  孙飞;  余金中;  陈少武
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一种适用于台阶结构的自对准掺杂工艺 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2007-10-17, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  孙飞;  余金中;  陈少武
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一种弯曲辅助型的高效电光调制器 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2007-10-10, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  孙飞;  余金中;  陈少武
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