一种适用于台阶结构的自对准掺杂工艺
孙飞; 余金中; 陈少武
2007-10-17
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型发明
申请日期2006-04-13
语种中文
申请号200610011658
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3847
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
孙飞,余金中,陈少武. 一种适用于台阶结构的自对准掺杂工艺[P]. 2007-10-17.
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