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作者:  Jianxing Xu;   Xiaodong Tong;   Shiyong Zhang;   Zhe Cheng;   Lian Zhang;   Penghui Zheng;   Feng-Xiang Chen;   Rong Wang;   Yun Zhang;   Wei Tan
Adobe PDF(1403Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2021/06/16
晶圆级光刻机键合方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-22
发明人:  毛旭;  赵永梅;  杨香;  黄亚军;  季安;  白云霞;  王晓东;  杨富华
Adobe PDF(359Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：515/3  |  提交时间：2016/09/22