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一种半导体的掺杂技术 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 1991-11-06, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:  李秀琼;  王培大;  马祥彬;  孙惠玲;  王纯
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  XU HD;  WANG HZ;  XUE SQ;  SHI XQ;  HUANG XM;  YANG CB;  CAO XN;  XU HD ACAD SINICAINST SEMICONDBEIJING 100083PEOPLES R CHINA
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