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补偿式微位移传感光子集成芯片 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200910241695.1, 公开日期: 2011-08-30
发明人:  祝宁华;  刘建国;  刘宇;  谢亮;  陈伟;  鞠昱;  孙可
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一种硅基光电器件集成方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200910091402.6, 公开日期: 2011-08-30
发明人:  李运涛;  俞育德;  余金中
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