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硅微纳结构热电器件研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2015
作者:  祁洋洋
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金属辅助化学腐蚀法  Si纳米线  热电器件  微纳结构  
氮化铝MEMS谐振器关键技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2015
作者:  杨健
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氮化铝  Mems  谐振器  有限单元法  压电系数测试  Icp刻蚀  
无权访问的条目 学位论文
作者:  李迪
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Hui Fang;  ChangXing Zhang;  Luo Liu;  YongMei Zhao;  HaiJun Xu
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Hui Fang;  Xin Zhang;  Shang Jie Zhang;  Luo Liu;  Yong Mei Zhao;  Hai Jun Xu
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Hui Fang;  HongJun Yin;  MingYang Lv;  HaiJun Xu;  YongMei Zhao;  Xin Zhang;  ZhengLong Wu;  Luo Liu;  TianWei Tan
Adobe PDF(2921Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:363/1  |  提交时间:2016/04/08
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Hong Jun Yin;  Luo Liu;  Chun An Shi;  Xin Zhang;  Ming Yang Lv;  Yong Mei Zhao;  Hai Jun Xu
Adobe PDF(2095Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:313/1  |  提交时间:2016/04/08
无权访问的条目 学位论文
作者:  魏伟伟
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无权访问的条目 学位论文
作者:  彭波华
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Xiaodong Wang;  Shengcheng Mao;  Peng Chen;  Yinong Liu;  Jin Ning;  Haixin Li;  Ketao Zang;  Ze Zhang;  Xiaodong Han
Adobe PDF(1593Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:262/1  |  提交时间:2016/04/15