SEMI OpenIR  > 半导体集成技术工程研究中心
硅微纳结构热电器件研究
祁洋洋
学位类型博士
导师杨富华 ; 王晓东 ; 张明亮
2015-05-31
学位授予单位中国科学院大学
学位授予地点北京
学位专业微电子学与固体电子学
关键词金属辅助化学腐蚀法 Si纳米线 热电器件 微纳结构
学科领域半导体器件
公开日期2015-06-02
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/26535
专题半导体集成技术工程研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
祁洋洋. 硅微纳结构热电器件研究[D]. 北京. 中国科学院大学,2015.
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