×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
×
登录
中文版
|
English
中国科学院半导体研究所机构知识库
Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
ALL
ORCID
题名
作者
学科领域
关键词
文献类型
出处
收录类别
出版者
发表日期
存缴日期
资助项目
学科门类
学习讨论厅
图片搜索
粘贴图片网址
首页
研究单元&专题
作者
文献类型
学科分类
知识图谱
新闻&公告
在结果中检索
研究单元&专题
半导体集成技术工程... [39]
作者
王熙元 [1]
徐晓娜 [1]
程凯芳 [1]
文献类型
期刊论文 [27]
专利 [12]
发表日期
2021 [5]
2020 [2]
2015 [6]
2013 [5]
2012 [6]
2011 [1]
更多...
语种
英语 [22]
中文 [6]
出处
MICROMACHI... [3]
JAPANESE J... [2]
Journal of... [2]
Applied Ph... [1]
CHINESE PH... [1]
CHINESE PH... [1]
更多...
资助项目
收录类别
SCI [23]
EI [4]
资助机构
MOST of Ch... [1]
The author... [1]
×
知识图谱
SEMI OpenIR
开始提交
已提交作品
待认领作品
已认领作品
未提交全文
收藏管理
QQ客服
官方微博
反馈留言
浏览/检索结果:
共39条,第1-10条
帮助
限定条件
专题:半导体集成技术工程研究中心
第一作者的第一单位
第一作者单位
通讯作者单位
已选(
0
)
清除
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
题名升序
题名降序
WOS被引频次升序
WOS被引频次降序
发表日期升序
发表日期降序
提交时间升序
提交时间降序
作者升序
作者降序
期刊影响因子升序
期刊影响因子降序
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Feng, Di
;
Niu, Zihao
;
Yang, Jiayi
;
Xu, Wei
;
Liu, Shuangshuang
;
Mao, Xu
;
Li, Xiuhan
Adobe PDF(6942Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:0/0
  |  
提交时间:2022/03/23
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Guo, Zhiyu
;
Wu, Jingmin
;
Tian, Run
;
Wang, Fengxuan
;
Xu, Pengfei
;
Yang, Xiang
;
Fan, Zhongchao
;
Yang, Fuhua
;
He, Zhi
Adobe PDF(2921Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:0/0
  |  
提交时间:2022/05/19
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Xu, Pengfei
;
Wei, Zhenyu
;
Jia, Lu
;
Zhao, Yongmei
;
Han, Guowei
;
Si, Chaowei
;
Ning, Jin
;
Yang, Fuhua
Adobe PDF(5513Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:0/0
  |  
提交时间:2022/03/28
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Xu, Pengfei
;
Wei, Zhenyu
;
Guo, Zhiyu
;
Jia, Lu
;
Han, Guowei
;
Si, Chaowei
;
Ning, Jin
;
Yang, Fuhua
Adobe PDF(4556Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:0/0
  |  
提交时间:2022/07/26
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Xu, Pengfei
;
Si, Chaowei
;
He, Yurong
;
Wei, Zhenyu
;
Jia, Lu
;
Han, Guowei
;
Ning, Jin
;
Yang, Fuhua
Adobe PDF(10261Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:0/0
  |  
提交时间:2022/05/09
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Yan Su
;
Pengfei Xu
;
Guowei Han
;
Chaowei Si
;
Jin Ning
;
Fuhua Yang
Adobe PDF(4470Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:0/0
  |  
提交时间:2021/11/26
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Tianzhao Bu
;
Liang Xu
;
Zhiwei Yang
;
Xiang Yang
;
Guoxu Liu
;
Yuanzhi Cao
;
Chi Zhang
;
Zhong Lin Wang
Adobe PDF(1782Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:0/0
  |  
提交时间:2021/11/05
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Xingdong Lv
;
Weiwei Wei
;
Xu Mao
;
Yu Chen
;
Jinling Yang
;
Fuhua Yang
Adobe PDF(2149Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:323/4
  |  
提交时间:2016/04/08
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Bin Zhang
;
QiangWu
;
Chongpei Pan
;
Ruobai Feng
;
Jingjun Xu
;
Cibo Lou
;
Xiaodong Wang
;
Fuhua Yang
Adobe PDF(22606Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:327/0
  |  
提交时间:2016/04/08
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Ming Yang Lv
;
Hai Yan Teng
;
Zhao Yang Chen
;
Yong Mei Zhao
;
Xin Zhang
;
Luo Liu
;
Zhenglong Wu
;
Li Min Liu
;
Hai Jun Xu
Adobe PDF(2724Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:327/1
  |  
提交时间:2016/04/08