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中国科学院半导体研究所机构知识库
Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
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研究单元&专题
中国科学院半导体研究... [1]
作者
焦春美 [1]
文献类型
专利 [1]
发表日期
2006 [1]
语种
中文 [1]
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作者：焦春美
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一种III族氮化物衬底的生产设备
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2006-07-05, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
发明人:
刘祥林
;
焦春美
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提交时间：2009/06/11
