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皮秒激光垂直剥离4H-SiC晶圆技术研究 学位论文
工学博士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者:  韩世飞
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4H-SiC的外延生长及后处理工艺的研究 学位论文
工程硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者:  陈俊宏
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基于高温退火AlN模板的深紫外激光二极管MOVPE生长研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者:  王大地
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碳化硅晶圆激光剥离机理与工艺研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者:  姜璐
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