SEMI OpenIR  > 全固态光源实验室
皮秒激光垂直剥离4H-SiC晶圆技术研究
韩世飞
学位类型博士
2023-05-24
学位授予单位中国科学院大学
学位授予地点中国科学院半导体研究所
学位名称工学博士
语种中文
公开日期2028-06-01
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/31539
专题全固态光源实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
韩世飞. 皮秒激光垂直剥离4H-SiC晶圆技术研究[D]. 中国科学院半导体研究所. 中国科学院大学,2023.
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YQGK2023004-博士-全固态光源(8074KB)学位论文 限制开放CC BY-NC-SA请求全文
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