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中国科学院半导体研究所 265 中国科学院半导体研究所(2009年前) 136 半导体超晶格国家重点实验室 28
光电子研究发展中心 26 中科院半导体材料科学重点实验室 20 集成光电子学国家重点实验室 19
半导体集成技术工程研究中心 12 中科院半导体照明研发中心 9 全固态光源实验室 7
光电子器件国家工程中心 3 半导体材料科学中心 3 光电系统实验室 2