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中国科学院半导体研究所 167 | 中国科学院半导体研究所(2009年前) 97 | 光电子研究发展中心 35 |
集成光电子学国家重点实验室 15 | 中科院半导体材料科学重点实验室 9 | 半导体超晶格国家重点实验室 5 |
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