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National Natural Sci 2 SPIE.; Chinese Opt S 1 Tsinghua Univ.; Educ 1
中国科学院科研装备研制项目,国家自然科学 1 其它基金 1 国家自然科学基金 1
国家自然科学基金(6 51 173,6 1 国家自然科学基金(6 51 173,6 1 国家自然科学基金,集成光电子学联合国家重 1
国家自然科学基金国际合作重大项目资助项目 1 国家自然科学基金项目（6 51 173, 1 国家自然科学基金（6 51 173,6 1
国家自然科学基金（批准号 1 国家高技术研究与发展计划（编号：2 1 1 教育部高等学校骨干教师资助计划项目 1
省市基金 1 科技部预研项目 1 集成光电子联合实验室中科院半导体所实验区 1