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中国科学院半导体研究所 76 中国科学院半导体研究所(2009年前) 64 集成光电子学国家重点实验室 3
光电子器件国家工程中心 3 中科院半导体材料科学重点实验室 2 半导体材料科学中心 2
半导体集成技术工程研究中心 1 纳米光电子实验室 1