Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
SOI衬底CMOS工艺电光调制器 | |
陈弘达; 黄北举; 董 赞 | |
2009-06-17 | |
专利权人 | 中科院半导体研究所 |
公开日期 | 3998 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 发明 |
申请日期 | 2007-12-12 |
语种 | 中文 |
专利状态 | 公开 |
申请号 | CN200710179413 |
专利代理人 | 汤宝平 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/9124 |
专题 | 中国科学院半导体研究所(2009年前) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈弘达,黄北举,董 赞 . SOI衬底CMOS工艺电光调制器[P]. 2009-06-17. |
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文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
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