磁场下CZ法生长GaAs单晶过程中流场的数值模拟
兰爱东
学位类型博士后
导师林兰英
2000
学位授予单位中国科学院半导体研究所
学位授予地点北京
学科领域材料物理与化学
语种中文
公开日期2009-04-13
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/5093
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
兰爱东. 磁场下CZ法生长GaAs单晶过程中流场的数值模拟[D]. 北京. 中国科学院半导体研究所,2000.
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