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| 硅化物表面与硅化物/硅界面研究——FeSi表面氧吸附与（Cr,pt）硅化物/硅界面研究 | |
| 丁孙安 | |
| 学位类型 | 博士 |
| 导师 | 许振嘉 |
| 1992 | |
| 学位授予单位 | 中国科学院半导体研究所 |
| 学位授予地点 | 北京 |
| 学科领域 | 半导体器件与半导体器件物理 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-04-13 |
| 文献类型 | 学位论文 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/4583 |
| 专题 | 中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 丁孙安. 硅化物表面与硅化物/硅界面研究——FeSi表面氧吸附与（Cr,pt）硅化物/硅界面研究[D]. 北京. 中国科学院半导体研究所,1992. |
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