铂金属的分离测定及在硅中掺杂行为研究
徐彩芬
学位类型硕士
导师崔仙航
1988
学位授予单位中国科学院半导体研究所
学位授予地点北京
学科领域半导体材料中杂质分析
语种中文
公开日期2009-04-13
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/4413
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
徐彩芬. 铂金属的分离测定及在硅中掺杂行为研究[D]. 北京. 中国科学院半导体研究所,1988.
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