Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
MOCVD生长掺杂半导体材料的低温退火方法 | |
韦欣 | |
2008-11-19 | |
公开日期 | 2009-06-04 ; 2009-06-11 |
专利类型 | 发明 |
申请日期 | 2007-05-16 |
语种 | 中文 |
申请号 | CN200710099292.9 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/4243 |
专题 | 中国科学院半导体研究所(2009年前) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 韦欣. MOCVD生长掺杂半导体材料的低温退火方法[P]. 2008-11-19. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
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