Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
硅V形槽板及利用硅V形槽板装配微丝电极阵列的方法 | |
陈弘达; 张若昕; 裴为华; 隋小红 | |
2008-01-30 | |
公开日期 | 2009-06-04 ; 2009-06-11 |
专利类型 | 发明 |
申请日期 | 2006-07-27 |
语种 | 中文 |
申请号 | 200610088945 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3949 |
专题 | 中国科学院半导体研究所(2009年前) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈弘达,张若昕,裴为华,等. 硅V形槽板及利用硅V形槽板装配微丝电极阵列的方法[P]. 2008-01-30. |
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