用于键合的清洗和干燥装置
何国荣; 石岩; 杨国华; 郑婉华; 陈良惠
2007-12-05
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型发明
申请日期2006-05-31
语种中文
申请号200610012043
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3867
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
何国荣,石岩,杨国华,等. 用于键合的清洗和干燥装置[P]. 2007-12-05.
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