提高氧化铝/砷化镓分布布拉格反射镜界面质量的方法
李若园; 徐波; 王占国
2007-07-25
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型发明
申请日期2006-01-18
语种中文
申请号200610011224
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3819
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
李若园,徐波,王占国. 提高氧化铝/砷化镓分布布拉格反射镜界面质量的方法[P]. 2007-07-25.
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