利用凹区作选择区域外延制作平面型集成有源波导的方法
朱洪亮; 侯康平; 杨华; 梁松; 王圩
2007-08-29
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型发明
申请日期2006-02-21
语种中文
申请号200610007846
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3815
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
朱洪亮,侯康平,杨华,等. 利用凹区作选择区域外延制作平面型集成有源波导的方法[P]. 2007-08-29.
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