在硬质材料上刻制图形的装置
袁树森
1992-12-16
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型实用新型
申请日期1992-05-22
语种中文
申请号CN92222126.X
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3257
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
袁树森. 在硬质材料上刻制图形的装置[P]. 1992-12-16.
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