一种化学气相淀积反应管
陆大成; 汪度; 昝育德; 刘祥林
1992-09-30
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型实用新型
申请日期1991-12-03
语种中文
申请号CN91229537.6
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3255
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
陆大成,汪度,昝育德,等. 一种化学气相淀积反应管[P]. 1992-09-30.
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