一种稳定的高压放电装置
周汝生; 贾凤清
1988-08-31
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型实用新型
申请日期1987-09-28
语种中文
申请号CN87213733
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3221
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
周汝生,贾凤清. 一种稳定的高压放电装置[P]. 1988-08-31.
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