集成Ge2Sb2Te5相变栅的无结硅纳米线晶体管研究 | |
葛延栋 | |
Subtype | 硕士 |
2023-05-24 | |
Degree Grantor | 中国科学院大学 |
Place of Conferral | 中国科学院半导体研究所 |
Degree Name | 工学硕士 |
Language | 中文 |
Document Type | 学位论文 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/31608 |
Collection | 半导体集成技术工程研究中心 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 葛延栋. 集成Ge2Sb2Te5相变栅的无结硅纳米线晶体管研究[D]. 中国科学院半导体研究所. 中国科学院大学,2023. |
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GK2023044-硕士-集成中心-葛延(16561KB) | 学位论文 | 限制开放 | CC BY-NC-SA | Application Full Text |
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