氮化物半导体材料与器件微观应力机理与调控研究
姚威振
学位类型博士后
2020-08
学位授予单位中国科学院大学
学位授予地点中国科学院半导体研究所
语种中文
公开日期2020-08
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/29954
专题中科院半导体材料科学重点实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
姚威振. 氮化物半导体材料与器件微观应力机理与调控研究[D]. 中国科学院半导体研究所. 中国科学院大学,2020.
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