感应加热式MOCVD设备的模拟仿真与研制
梅书哲
学位类型博士
导师王晓亮
2018-06-02
学位授予单位中国科学院大学
学位授予地点北京
学位专业微电子学与固体电子学
关键词Mocvd 感应加热 温度均匀性 流场温场 建模仿真
学科领域半导体材料 ; 半导体器件
公开日期2018-06-11
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/28543
专题中科院半导体材料科学重点实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
梅书哲. 感应加热式MOCVD设备的模拟仿真与研制[D]. 北京. 中国科学院大学,2018.
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