在硬质材料表面照相砂雕图案的方法及其设备
袁树森
1993-01-20
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型发明
申请日期1992-06-25
语种中文
申请号CN92104846.7
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/2823
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
袁树森. 在硬质材料表面照相砂雕图案的方法及其设备[P]. 1993-01-20.
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