SEMI OpenIR  > 半导体集成技术工程研究中心
基于浓硼扩散工艺的硅纳米线热电结构研究
邓凌霄
学位类型硕士
导师王晓东
2017-05-27
学位授予单位中国科学院大学
学位授予地点北京
学位专业微电子学与固体电子学
关键词硅纳米线 热电优值 塞贝克系数 热导率
公开日期2017-06-01
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/28172
专题半导体集成技术工程研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
邓凌霄. 基于浓硼扩散工艺的硅纳米线热电结构研究[D]. 北京. 中国科学院大学,2017.
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基于浓硼扩散工艺的硅纳米线热电结构研究.(2899KB) 限制开放使用许可请求全文
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