SEMI OpenIR  > 半导体集成技术工程研究中心
硅基水平III-V族纳米线晶体管的研究
张望
学位类型硕士
导师韩伟华
2017-05-27
学位授予单位中国科学院大学
学位授予地点北京
学位专业微电子学与固体电子学
关键词纳米线晶体管 Soi图形衬底 水平iii-v族纳米线 界面态 变温电学特性
学科领域半导体器件
公开日期2017-06-01
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/28169
专题半导体集成技术工程研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
张望. 硅基水平III-V族纳米线晶体管的研究[D]. 北京. 中国科学院大学,2017.
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