SEMI OpenIR  > 中科院半导体照明研发中心
图形化硅衬底氮化物外延及半极性发光器件
张璐
学位类型硕士
导师袁国栋
2017-05-25
学位授予单位中国科学院研究生院
学位授予地点北京
学位专业微电子学与固体电子学
关键词Si Gan 湿法腐蚀 Mocvd 半极性面 多量子阱 正装结构led
学科领域半导体器件
公开日期2017-06-01
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/28159
专题中科院半导体照明研发中心
推荐引用方式
GB/T 7714
张璐. 图形化硅衬底氮化物外延及半极性发光器件[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2017.
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