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Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
| 实现对称结构硅基二氧化硅应力光波导偏振不灵敏的方法 | |
| 安俊明; 李健; 郜定山; 夏君磊; 李建光; 王红杰; 胡雄伟 | |
| 2005-01-26 | |
| 公开日期 | 2009-06-04 ; 2009-06-11 |
| 专利类型 | 发明 |
| 申请日期 | 2003-07-22 |
| 语种 | 中文 |
| 申请号 | CN03147558.2 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/2739 |
| 专题 | 中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 安俊明,李健,郜定山,等. 实现对称结构硅基二氧化硅应力光波导偏振不灵敏的方法[P]. 2005-01-26. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 03147558.pdf（637KB） | 限制开放 | -- | 请求全文 | |||
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