SEMI OpenIR  > 纳米光电子实验室
InP基雪崩光电二极管结构设计与关键工艺研究
李慧梅
学位类型硕士
导师陈良惠 ; 宋国峰
2016-05-30
学位授予单位中国科学院研究生院
学位授予地点北京
学位专业微电子学与固体电子学
关键词Ingaas/inp Apd Ingaas/inalas Apd 增益 暗电流 击穿电压 扩散zn掺杂
学科领域半导体器件
公开日期2016-06-02
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27157
专题纳米光电子实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
李慧梅. InP基雪崩光电二极管结构设计与关键工艺研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2016.
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