SEMI OpenIR  > 光电子研究发展中心
快速熔融法制备Si基Ge-on-insulator结构基础研究
温娟娟
学位类型博士
导师王启明 ; 成步文
2015-05-28
学位授予单位中国科学院研究生院
学位授予地点北京
学位专业微电子学与固体电子学
关键词Goi Rmg 光致发光 晶格旋转 Si-ge互扩散
学科领域光电子学
公开日期2015-06-01
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/26517
专题光电子研究发展中心
推荐引用方式
GB/T 7714
温娟娟. 快速熔融法制备Si基Ge-on-insulator结构基础研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2015.
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