材料的微区应力测试系统 | |
高寒松; 陈涌海; 刘雨; 张宏毅; 黄威; 朱来攀; 李远; 邬庆 | |
Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
Date Available | 2014-07-23 |
Country | 中国 |
Subtype | 发明 |
Subject Area | 半导体材料 |
Application Date | 2014-04-10 |
Application Number | CN201410143013.4 |
Document Type | 专利 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25723 |
Collection | 中科院半导体材料科学重点实验室 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 高寒松,陈涌海,刘雨,等. 材料的微区应力测试系统. |
Files in This Item: | ||||||
File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
材料的微区应力测试系统.pdf(513KB) | 限制开放 | License | Application Full Text |
Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
Edit Comment