| 材料的微区应力测试系统 | |
| 高寒松; 陈涌海; 刘雨; 张宏毅; 黄威; 朱来攀; 李远; 邬庆 | |
| Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
| Date Available | 2014-07-23 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Subject Area | 半导体材料 |
| Application Date | 2014-04-10 |
| Application Number | CN201410143013.4 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25723 |
| Collection | 中科院半导体材料科学重点实验室 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 高寒松,陈涌海,刘雨,等. 材料的微区应力测试系统. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 材料的微区应力测试系统.pdf（513KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
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