硅基III-V外延材料图形异质键合均匀轴向力施力装置
张冶金; 郑婉华; 渠红伟
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2012-08-22
授权国家中国
专利类型发明
学科领域半导体材料
申请日期2012-05-08
申请号CN201210139758.4
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25268
专题中科院半导体材料科学重点实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
张冶金,郑婉华,渠红伟. 硅基III-V外延材料图形异质键合均匀轴向力施力装置.
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