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深紫外激光光致发光光谱仪; 深紫外激光光致发光光谱仪
金鹏; 王占国
Rights Holder中国科学院半导体研究所
Date Available2012-09-09 ; 2012-09-09 ; 2012-09-09
Country中国
Subtype发明
Abstract 一种深紫外激光光致发光光谱仪,包括:一全固态深紫外激光器;一真空样品室与全固态深紫外激光器连接;一真空单色仪与真空样品室连接;一第一真空维持系统与真空样品室连接;一第二真空维持系统与真空单色仪连接;一低温系统和控温装置与真空样品室通过法兰连接;一样品架三维调整装置与真空样品室连接;一稳态发射谱探测系统与真空单色仪连接;一时间分辨光谱探测系统与真空单色仪连接;一真空泄漏安全系统的第一、第二控制端与第一真空维持系统连接,第三、第四控制端与第二真空维持系统连接,第五控制端与低温系统和控温装置连接;一计算机控制装置用于控制真空泄漏安全系统、真空单色仪、低温系统和控温装置、样品架三维调整装置、稳态发射谱探测系统和时间分辨光谱探测系统。
metadata_83中科院半导体材料科学重点实验室
Patent NumberCN102213617A
Language中文
Status公开
Application Number CN201110087894.9
Document Type专利
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23484
Collection中科院半导体材料科学重点实验室
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GB/T 7714
金鹏,王占国. 深紫外激光光致发光光谱仪, 深紫外激光光致发光光谱仪. CN102213617A.
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