| 增强纳米三明治品质因子的结构; 增强纳米三明治品质因子的结构 | |
| 付非亚; 王宇飞; 晏新宇; 刘安金; 周文君; 郑婉华 | |
| 专利权人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 公开日期 | 2012-09-09 ; 2012-09-09 ; 2012-09-09 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 摘要 | 一种增强纳米三明治品质因子的结构,包括：一下金属层；一介质层,该介质层制作在下金属层上；一上金属层,该上金属层制作在介质层上；其是通过降低纳米三明治腔体的非辐射损耗的途径,提高纳米三明治腔体品质因子。 |
| 部门归属 | 纳米光电子实验室 |
| 专利号 | CN102166845A |
| 语种 | 中文 |
| 专利状态 | 公开 |
| 申请号 | CN201110022714.9 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23455 |
| 专题 | 纳米光电子实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 付非亚,王宇飞,晏新宇,等. 增强纳米三明治品质因子的结构, 增强纳米三明治品质因子的结构. CN102166845A. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 增强纳米三明治品质因子的结构.pdf（364KB） | 限制开放 | 使用许可 | 请求全文 | |||
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [付非亚]的文章 |
| [王宇飞]的文章 |
| [晏新宇]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [付非亚]的文章 |
| [王宇飞]的文章 |
| [晏新宇]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [付非亚]的文章 |
| [王宇飞]的文章 |
| [晏新宇]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论