SEMI OpenIR  > 集成光电子学国家重点实验室
双环结构微纳生物传感器及其制作方法; 双环结构微纳生物传感器及其制作方法
苏保青; 王春霞; 阚强; 李俊华; 解意洋; 王真真; 陈弘达
Rights Holder中国科学院半导体研究所
Date Available2012-09-09 ; 2012-09-09 ; 2012-09-09
Country中国
Subtype发明
Abstract 一种双环结构的微纳生物传感器,包括:一SOI基片,该SOI基片的顶层为顶层硅;一双环结构,该双环结构形成于SOI基片的顶层硅上;一输入波导和一输出波导,该输入波导和输出波导位于双环结构的两侧,并形成于SOI基片的顶层硅上;一U型微流通道,该U型微流通道扣置键合在双环结构上。
metadata_83集成光电子学国家重点实验室
Language中文
Status公开
Application Number CN201110100110.1
Document Type专利
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23421
Collection集成光电子学国家重点实验室
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GB/T 7714
苏保青,王春霞,阚强,等. 双环结构微纳生物传感器及其制作方法, 双环结构微纳生物传感器及其制作方法.
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