SEMI OpenIR  > 半导体超晶格国家重点实验室
一种显微共焦拉曼光谱仪; 一种显微共焦拉曼光谱仪
谭平恒; 韩文鹏; 张昕; 鲁妍; 罗师强
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2012-08-29 ; 2012-06-20 ; 2012-08-29
授权国家中国
专利类型发明
摘要 本发明公开了一种显微共焦拉曼光谱仪,该光谱仪包括显微共焦拉曼模块和与之匹配的单光栅光谱仪,其中显微共焦拉曼模块包含反射镜、可调角度滤光片架、样品监测光路、拉曼滤光片、显微物镜、汇聚透镜和可调大小针孔。利用显微共焦拉曼模块将激光聚焦到样品并显微观测样品以及相应激光斑点,同时将拉曼信号显微共焦到可调大小针孔,并利用单光栅光谱仪探测拉曼信号。本发明提供了一种简单、经济和调节方便的新的显微共焦拉曼光谱仪,可实现样品以及相应激光斑点的显微观测,将在材料的拉曼光谱测量方面发挥潜在的作用。
部门归属半导体超晶格国家重点实验室
申请日期2011-09-26
专利号CN102507529A
语种中文
专利状态公开
申请号 CN201110288486.X
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23318
专题半导体超晶格国家重点实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
谭平恒,韩文鹏,张昕,等. 一种显微共焦拉曼光谱仪, 一种显微共焦拉曼光谱仪. CN102507529A.
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