| 多晶硅碱性制绒方法; 多晶硅碱性制绒方法 | |
| 陈腾; 赵有文 | |
| 专利权人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 公开日期 | 2012-08-29 ; 2012-08-29 ; 2012-08-29 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 摘要 | 一种多晶硅碱性制绒方法,包括以下步骤：1)配制碱性制绒液；2)将配制好的制绒液加热,然后取一片多晶硅浸泡于制绒液中,进行制绒；3)对制绒后的多晶硅片漂洗；4)漂洗后酸洗,再进行二次漂洗；5)将二次漂洗后的多晶硅片甩干,完成多晶硅碱性制绒的步骤。 |
| 部门归属 | 半导体材料科学中心 |
| 申请日期 | 2011-12-07 |
| 专利号 | CN102437044A |
| 语种 | 中文 |
| 专利状态 | 公开 |
| 申请号 | CN201110404087.5 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23310 |
| 专题 | 半导体材料科学中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈腾,赵有文. 多晶硅碱性制绒方法, 多晶硅碱性制绒方法. CN102437044A. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 多晶硅碱性制绒方法.pdf（579KB） | 限制开放 | 使用许可 | 请求全文 | |||
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