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SEMI OpenIR  > 半导体材料科学中心  > 专利

专利名称: 多晶硅碱性制绒方法;  多晶硅碱性制绒方法
发明人: 陈腾;  赵有文
摘要:  一种多晶硅碱性制绒方法,包括以下步骤:1)配制碱性制绒液;2)将配制好的制绒液加热,然后取一片多晶硅浸泡于制绒液中,进行制绒;3)对制绒后的多晶硅片漂洗;4)漂洗后酸洗,再进行二次漂洗;5)将二次漂洗后的多晶硅片甩干,完成多晶硅碱性制绒的步骤。
专题: 半导体材料科学中心_专利

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多晶硅碱性制绒方法.pdf579KbAdobe PDF 联系获取全文


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陈腾;赵有文,多晶硅碱性制绒方法, CN201110404087.5,
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