SEMI OpenIR  > 半导体集成技术工程研究中心
水平全限制相变存储器工艺研发及器件制备研究
付英春
学位类型硕士
导师杨富华 ; 王晓峰
2012
学位授予单位中国科学院研究生院
学位授予地点北京
学位专业集成电路工程
学科领域微电子学
公开日期2012-06-25
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23180
专题半导体集成技术工程研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
付英春. 水平全限制相变存储器工艺研发及器件制备研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2012.
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